泰克6517B 靜電計/高阻表

泰克6517B 靜電計/高阻表

吉時利5位半6517B靜電計/高阻表提供的精 度和靈敏度指標高于其他同類型儀表。它還具有 完備的功能，使測量高阻和絕緣材料電阻率變得 簡單。6517B具有425讀數(shù)/秒的測試速率，比同 類型的靜電計快很多，可以提供快速、簡易的弱 電流測量能力測量弱電流。

主要特點:

• 電阻測量可達1016 Ω
• 電流測量范圍1fA - 20mA
• 小電流量程輸入端壓降<20μV
• 200TΩ 輸入阻抗
• <3fA 偏置電流
• 測試速率高達425 rdgs/s
• 噪聲0.75fA p-p
• 內(nèi)置±1kV電壓源
• *的高電阻測量電壓反接方法
• 可選的插件式掃描卡

出眾的性能指標

半機架型6517B靜電計/高阻表具有特殊的低 電流輸入放大器，其輸入偏置電流<3fA，噪聲僅 0.75fA p-p (峰-峰) ，輸入端壓降<20μV。對于 接近理想的電路負載，其電壓和電阻測量的輸入 阻抗是200TΩ。這些性能指標確保物理、光學(xué)、納米技術(shù)和材料科學(xué)等研究領(lǐng)域低電流和高阻抗電壓、電阻和電荷測量所需的準確 度和靈敏度。內(nèi)置±1kV的電壓源具有掃描能力，從而簡化漏流測試、擊穿電壓測試 和電阻測試，以及絕緣材料的體電阻率(Ω-cm) 及表面電阻率(Ω/square) 的測量。

測量范圍寬

6517B型靜電計/高阻表具有全自動量程，超過電流、電阻、電壓和電荷測量滿量程：
• 電流測量范圍：1fA - 20mA
• 電壓測量范圍：10μV - 200V
• 電阻測量范圍：50Ω - 1016Ω
• 電荷測量范圍：10fC - 2μC

改進的高靈敏度測量

許多測試應(yīng)用要求測量高級別材料的電阻率（面電阻率和體電阻率）。傳統(tǒng)測 量方法是對樣本施加足夠高的電壓，測量流經(jīng)樣本的電流，然后利用歐姆定律(R=V /I)計算其電阻。雖然高阻材料和器件產(chǎn)生很小的電流，很難準確進行測量，但利用 吉時利靜電計和皮安計則可以成功地進行這種測量。

即使利用高精度儀器，材料中固有的背景電流使得進行準確測量較為 困難。由于壓電效應(yīng)、電容效應(yīng)和偏振效應(yīng)，絕緣材料、聚合物和塑料通 常都顯示出背景電流。這些背景電流一般等于或大于施加電壓產(chǎn)生的電流。 在這些情況下，其測量結(jié)果往往是不穩(wěn)定的，生成不準確的電阻或電阻率 讀數(shù)甚至錯誤的負值。吉時利6517B型靜電計/高阻表旨在解決這些問題， 并為各種材料和元件提供*、可重復(fù)和精準的測量，特別是與8009型電 阻測試夾具一起使用時。

變換極性法

6517B型靜電計/高阻表使用變換電極法，實際上消除了樣本的背景電 流。并剔除背景電流的第yi級和第二級漂移。變換電極法施加一個正極性 電壓，然后在延遲（測量時間）后測量電流。接著，改變電壓極性， 使用相同的延遲，重新測量電流。連續(xù)重復(fù)這個過程，并根據(jù)4個電 流測量結(jié)果的加權(quán)平均值計算出電阻。對大多數(shù)材料來說，通過7次反轉(zhuǎn)(即 舍棄前三個讀數(shù))，這個方法通常生成可高度重復(fù)、準確的電阻（或電阻 率）測量結(jié)果。例如，利用8009型測試夾具0.3%的重復(fù)度，可對1mm厚 的1014Ω-cm材料樣本進行測量，在15秒測試周期內(nèi)其背景電流低于200fA。

與數(shù)字多用表類似的簡單操作

6517B型靜電計/高阻表采用與數(shù) 字多用表類似的簡易操作，可通過前 面板，利用單一按鈕控制電阻測量等 重要功能。還可以通過內(nèi)置IEEE-488 接口實施控制，因此，可利用計算機 控制器通過總線對所有功能進行編程。

高精度高阻測量

6517B型靜電計/高阻表的諸多特 性和能力有助于確保高阻測量應(yīng)用的 準確度。例如，其內(nèi)置電壓源簡化了 絕緣器電阻率和所用電源電壓電平之 間關(guān)系的確定。它還非常適合電容器 泄漏和絕緣電阻測量、印刷電路板表 面絕緣電阻測試、電阻器電壓系數(shù)測 試以及二極管泄漏特性分析。

溫度和濕度測試

濕度和溫度可能嚴重影響材料的 電阻率值。為了幫助您準確比較在不 同情況下測得的讀數(shù)，6517B型靜電 計/高阻表提供內(nèi)置K型熱電偶和一個 可選的6517-RH型相對濕度探頭。其 內(nèi)置數(shù)據(jù)存儲緩沖器允許記錄和調(diào)用 具有時間、溫度和相對濕度Stamping 的讀數(shù)。

附件擴展測量能力

利用多種可選附件，可以擴展 6517B型靜電計/高阻表的應(yīng)用，并改 進其性能。

掃描卡。利用兩張掃描卡，可以簡化 多個信號的掃描。每張卡都可以輕松 插入儀器后面板的插槽。6521型掃描 卡提供10個低電平電流掃描通道。 6522型掃描卡提供10個高阻抗電壓開 關(guān)或低電流開關(guān)通道。

測試夾具。8009型電阻率夾具是一款 受保護的測試夾具，用于樣本材料的 體電阻率和表明電阻率測量。它包括 按ASTM標準構(gòu)建的不銹鋼電極。該 夾具的電極尺寸已在6517B型靜電計 /高阻表預(yù)編程，因此無需計算其數(shù) 值，可以稍后手動輸入。這個附件旨 在保護用戶避免接觸潛在的危險電壓 ——自動開啟夾具蓋，關(guān)閉6517B型 靜電計/高阻表電壓源輸出。

應(yīng)用

6517B型靜電計/高阻表非常適合物 理、光學(xué)、納米技術(shù)和材料科學(xué)等研究 領(lǐng)域的低電流和高阻抗電壓、電阻和電 荷測量。其極低的電壓降非常適合太陽 能電池測量，其內(nèi)置電壓源和低電流靈 敏度使之成為基于聚合物的納米線等高 阻測量的出眾解決方案。其高速和易用 性使之成為質(zhì)量控制、產(chǎn)品工程和生產(chǎn) 測試（包括漏流、擊穿和電阻測試）應(yīng) 用的*選擇。利用6517B型靜電計/高 阻表的電壓反轉(zhuǎn)方法，可以大幅改進對 絕緣材料的體電阻率和表面電阻率測量。 6517B型靜電計/高阻表還非常適合電化 學(xué)應(yīng)用，如離子選擇性電極和pH測量、 電導(dǎo)電池和電勢測定。

改進型6517B靜電計/高阻表

6517B型靜電計/高阻表是一款升 級型號，用于取代1996年推出的6517A 型儀器。利用SCPI指令為6517A型儀器 建造的軟件應(yīng)用程序無需任何修改即可 用于6517B型靜電計/高阻表。不過，同 早期的6517A設(shè)計相比，6517B型靜電 計/高阻表進行了一些改進。其內(nèi)部電 池供電的內(nèi)存緩存可存儲高達50,000個 讀數(shù)，允許用戶更長時間地記錄測試結(jié) 果，并存儲更多與讀數(shù)有關(guān)的數(shù)據(jù)。該 新型儀器還為內(nèi)部緩存提供更快的讀取 速度(高達425讀數(shù)/秒)，還可通過IEEE 總線存入外部存儲器(速度高達400讀數(shù) /秒)。為了滿足現(xiàn)代連接和安全需求， 6517B型還連接器進行了幾處改動。

泰克6517B 靜電計/高阻表

電壓

常模抑制比（NMRR）：2V和20V量程>60dB, 200V量程>55dB。
50Hz或60Hz2。
共態(tài)抑制比（CMRR）：直流時>120dB，50Hz或60Hz。
輸入阻抗：>200TΩ，并聯(lián)20pF電容，保護電容<2pF(1MΩ零檢查)。
前置放大器輸出端的小信號帶寬: 典型值100kHz (–3dB)。

注：

1. 適當歸零時，5½位，1個PLC (電力線周期)，中值濾波器開啟, 數(shù)字濾波器 = 10個讀數(shù)。
2. 線路同步。

電流

輸入偏置電流：<3fA（典型值）。
溫度系數(shù) = 0.5fA/°C，20pA量程。
輸入偏置電流噪聲：<750aA p-p (capped input)，帶寬0.1Hz～10Hz， 阻尼。數(shù)字濾波器= 40讀數(shù)，量程20pA。
輸入電壓降（典型溫度±1°C）：
在20pA, 2nA, 20nA, 2μA與20μA量程時，<20μV。
在200pA, 200nA與200μA量程時，<100μV。
在2mA量程時，<.2mV。在20mA量程時，<5mV。
輸入電壓降溫度系數(shù)：在pA, nA與μA量程時，<10μV/°C。
前置放大器建立時間(達到終值10%)典型值：在pA量程時， 為0.5s (阻尼關(guān)閉)和2.0 s (阻尼開啟)。在nA量程時，為15ms (阻尼關(guān)閉)；在μA量程時，為1ms (阻尼關(guān)閉)；在mA量程時， 為500μs (阻尼關(guān)閉)。
常模抑制比（NMRR）：在50Hz或60Hz³時，在各個量程均>60dB。

注：
1. 適當歸零時，5½位，1個PLC (電力線周期)，中值濾波器開啟, 數(shù)字濾波器 = 10個讀數(shù)。
2. aA = 10-18A，fA = 10-15A
3. 線路同步。

電阻(常規(guī)方法)

注：
1. 自動電壓源歐姆性能指標，適當歸零時，5½位，1個PLC (電力線周期)，中值濾波器開啟, 數(shù)字濾波器 = 10個讀數(shù)。如果需要用戶可選電壓，請使用手動模式。手動模式顯示通過測 得電流計算出的電阻(高達1018Ω)。其準確度等同于電壓源準確度加選定電流量程的準確度。
前置放大器建立時間：在電流性能指標中，為前置放大器建立時間增加電壓源建立時間。
超過20GΩ的范圍需要根據(jù)載荷特性額外設(shè)定。

電阻(變換極性法)

變換極性序列可以補償待測材料或期間的背景（偏移）電流。大容許偏移為所用電流量程 的滿刻度。
使用吉時利8009夾具
可靠性：ΔI_BG × R/V_ALT + 0.1% (1σ) (儀器溫度常數(shù)±1°C)。
準確度：(V_SRCErr + I_MEASErr × R)/V_ALT
其中：ΔI_BG是測量得到的來自樣本和測試夾具的典型背景電流噪聲。
V_ALT是使用的變換極性電壓。
V_SRCErr是使用V_ALT作為設(shè)置的電壓源準確度(單位：V) 。
I_MEASErr是使用作為V_ALT /R讀數(shù)的電流計準確度(單位：A)。

電壓源

大輸出電流：
100V量程：±10mA, 在<14mA時，采取硬件短路電流保護。
1000V量程：±1mA, 在<1.4mA時，采取硬件短路電流保護。
建立時間：
100V量程：到達額定準確度<8m s。
1000V量程：到達額定準確度<50ms。
噪聲(典型值)：
100V量程：<2.6mV rms。
1000V量程：<2.9mV rms。

電荷

注：
1. 性能指標適用于電荷剛采集后。增加
|QAV| (4fA + _____ ) T_A RC 其中，T_A = 電荷歸零與測量之間的時間周期（單位：秒）
QAV = 在T_A周期測得的平均電荷，RC = 300,000（典型值）。
2. 適當歸零時，5½位，1個PLC (電力線周期)，中值濾波器開啟, 數(shù)字濾波器 = 10個讀數(shù)。
輸入偏置電流: 典型值時，<4fA。溫度系數(shù)= 0.5fA/°C，量程2nC。

溫度（熱電偶）

注：1. 不包括探測誤差，Tcal ± 5°C, 1 PLC積分時間。

濕度

注： 1. 必須增加濕度探測準確度。對于6517-RH型，為±3% RH，探測環(huán)境溫度高達65°C， 不超過85°C。

6517B型靜電計/高阻表后面板

IEEE-488總線實現(xiàn)

實現(xiàn)：SCPI (IEEE-488.2, SCPI-1999.0)。
從觸發(fā)到完成讀數(shù)：150ms典型值，包括外部觸發(fā)器。
RS-232實現(xiàn)：支持：SCPI 1991.0。波特率: 300, 600, 1200, 2400,4800, 9600, 19.2k, 38.4k, 57.6k與115.2k。
流程控制：無，Xon/Xoff。
連接器：DB-9 TXD/RXD/GND。

公共指標

過量程指示：當讀數(shù)>105%量程時，顯示讀數(shù) “OVERFLOW”（超額）。對于 嚴重過量程情況，顯示 “OUT OF LIMIT”（超限）。
量程設(shè)置：自動或手動。
轉(zhuǎn)換時間：可選擇0.01PLC至10PLC。
大輸入：250V峰值，直流至60Hz正弦波；對于mA量程，每分鐘大值10s。
大共模電壓(直流至60Hz正弦波)：靜電計，500V峰值；電壓源，750V峰值。
隔離(儀表公共端至底盤)：>1010Ω, <500pF。
輸入連接器：后面板包含3個三同軸電纜連接器。
2V模擬輸出：對滿量程輸入，為2V。在電壓模式下非反相，測量電流、電阻 或電荷時反相。輸出阻抗10kΩ。
峰值輸出：為電壓測量提供保護輸出。在電流和電荷模式下可以用作反相輸出 或外部反饋。
外部觸發(fā)器：TTL兼容的外部觸發(fā)器與靜電計。
保護：切換至可用電壓保護。
數(shù)字I/O與觸發(fā)線路：可用，參見使用手冊。
EMC：符合歐盟指令89/336/EEC, EN 61326-1。
安全：符合歐盟指令73/23/EEC, EN 61010-1。
讀數(shù)存儲：50,000。
讀數(shù)率：
至內(nèi)部緩存：425 讀數(shù)/秒1
至IEEE-488總線：400讀數(shù)/秒1,2
總線傳輸：3300讀數(shù)/秒2
1. 0.01PLC，數(shù)字濾波器關(guān)閉，前面板關(guān)閉，溫度+ RH關(guān)閉，線路同步關(guān)閉。
2.二進制傳輸模式。
數(shù)字濾波器 ：中值 和平均。
環(huán)境：工 作：0 ～ 50°C；相對濕度70%非冷凝，zui高35°C。
存儲：–25 ～ +65°C。
海拔：zui高高出海 平面2000 m，符合EN 61010-1標準。
預(yù)熱：1小時至額定準確度(關(guān)于推薦的程序，參見手冊)。
電源：用戶可選擇100, 120, 220, 240VAC ±10%; 50/60Hz, 100VA大值。
外形：箱體尺寸：90mm 高× 214mm 寬 × 369mm 長(3½ in. × 8½ in.× 14½ in .)。
工作尺寸：從殼體前面到后面（包括電源線和IEEE-488連接器）：15.5 in。
凈重：5.4kg (11.8 lbs.)。
毛重：6.9kg (15.11 lbs.)。